Miniaturized langasite MEMS micro-cantilever beam structured resonator for high temperature gas sensing
| Auteur(s): |
Chen Zhang
Wei Jiang Abhishek Ghosh Guoan Wang Felix Wu Haifeng Zhang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, 27 mars 2020, n. 5, v. 29 |
| Page(s): | 055002 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab78b6 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10414242 - Publié(e) le:
26.02.2020 - Modifié(e) le:
31.03.2020
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