Miniaturized langasite MEMS micro-cantilever beam structured resonator for high temperature gas sensing
| Autor(en): |
Chen Zhang
Wei Jiang Abhishek Ghosh Guoan Wang Felix Wu Haifeng Zhang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 27 März 2020, n. 5, v. 29 |
| Seite(n): | 055002 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab78b6 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10414242 - Veröffentlicht am:
26.02.2020 - Geändert am:
31.03.2020
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