MEMS-based microstructures for nanomechanical characterization of thin films
| Auteur(s): |
A. Boé
A. Safi M. Coulombier D. Fabrègue T. Pardoen J.-P. Raskin |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, novembre 2009, n. 11, v. 18 |
| Page(s): | 115018 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/18/11/115018 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224041 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
Structurae coopère avec
