MEMS-based microstructures for nanomechanical characterization of thin films
| Autor(en): |
A. Boé
A. Safi M. Coulombier D. Fabrègue T. Pardoen J.-P. Raskin |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, November 2009, n. 11, v. 18 |
| Seite(n): | 115018 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/18/11/115018 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224041 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
Structurae kooperiert mit
