Magnetic field effects on coating deposition rate and surface morphology coatings using magnetron sputtering
| Auteur(s): |
Yu-Sen Yang
Wesley Huang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2010, n. 12, v. 19 |
| Page(s): | 124003 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/12/124003 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224353 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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