Magnetic field effects on coating deposition rate and surface morphology coatings using magnetron sputtering
| Autor(en): |
Yu-Sen Yang
Wesley Huang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2010, n. 12, v. 19 |
| Seite(n): | 124003 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/12/124003 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224353 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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