Low speed piezoelectric optical microscanner actuated by piezoelectric microcantilevers using LaNiO3buffered Pb(Zr,Ti)O3thin film
| Auteur(s): |
T. Kobayashi
R. Maeda T. Itoh |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juin 2009, n. 6, v. 18 |
| Page(s): | 065008 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/18/6/065008 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223911 - Publié(e) le:
02.12.2018 - Modifié(e) le:
02.12.2018
Structurae coopère avec
