Low speed piezoelectric optical microscanner actuated by piezoelectric microcantilevers using LaNiO3buffered Pb(Zr,Ti)O3thin film
| Autor(en): |
T. Kobayashi
R. Maeda T. Itoh |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Juni 2009, n. 6, v. 18 |
| Seite(n): | 065008 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/18/6/065008 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223911 - Veröffentlicht am:
02.12.2018 - Geändert am:
02.12.2018
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