Finite-element modeling of the transient response of MEMS sensors
| Auteur(s): |
Young-Hun Lim
Vasundara V. Varadan Vijay K. Varadan |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 1997, n. 1, v. 6 |
| Page(s): | 53-61 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/6/1/007 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10214536 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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