Finite-element modeling of the transient response of MEMS sensors
| Autor(en): |
Young-Hun Lim
Vasundara V. Varadan Vijay K. Varadan |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 1997, n. 1, v. 6 |
| Seite(n): | 53-61 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/6/1/007 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10214536 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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