Fine motion control of a moving stage using a piezoactuator associated with a displacement amplifier
| Auteur(s): |
S. B. Choi
S. S. Han Y. S. Lee |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 2005, n. 1, v. 14 |
| Page(s): | 222-230 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/14/1/022 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223350 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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