Fine motion control of a moving stage using a piezoactuator associated with a displacement amplifier
Autor(en): |
S. B. Choi
S. S. Han Y. S. Lee |
---|---|
Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2005, n. 1, v. 14 |
Seite(n): | 222-230 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/14/1/022 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223350 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018