Fabrication and characterization of a piezoelectric gallium nitride switch for optical MEMS applications
| Auteur(s): |
Prashanth Ramesh
Sriram Krishnamoorthy Siddharth Rajan Gregory N. Washington |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, septembre 2012, n. 9, v. 21 |
| Page(s): | 094003 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/21/9/094003 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224830 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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