Fabrication and characterization of a piezoelectric gallium nitride switch for optical MEMS applications
| Autor(en): |
Prashanth Ramesh
Sriram Krishnamoorthy Siddharth Rajan Gregory N. Washington |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, September 2012, n. 9, v. 21 |
| Seite(n): | 094003 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/21/9/094003 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224830 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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