Excimer laser micromachining of TiN films from chromium and copper sacrificial layers
| Auteur(s): |
A. J. Dowling
M. K. Ghantasala J. P. Hayes E. C. Harvey E. D. Doyle |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, octobre 2002, n. 5, v. 11 |
| Page(s): | 715-721 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/11/5/314 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10215905 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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