Excimer laser micromachining of TiN films from chromium and copper sacrificial layers
| Autor(en): |
A. J. Dowling
M. K. Ghantasala J. P. Hayes E. C. Harvey E. D. Doyle |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Oktober 2002, n. 5, v. 11 |
| Seite(n): | 715-721 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/11/5/314 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215905 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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