Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces
| Auteur(s): |
Radon Dhelika
Kenji Sawai Kunio Takahashi Wataru Takarada Takeshi Kikutani Shigeki Saito |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, septembre 2013, n. 9, v. 22 |
| Page(s): | 095010 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/22/9/095010 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225126 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
Structurae coopère avec
