Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces
| Autor(en): |
Radon Dhelika
Kenji Sawai Kunio Takahashi Wataru Takarada Takeshi Kikutani Shigeki Saito |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, September 2013, n. 9, v. 22 |
| Seite(n): | 095010 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/22/9/095010 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225126 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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