Effect of FIB milling on NiTi films and NiTi/Si micro-bridge sensor
| Auteur(s): |
David Vokoun
Lukas Kaderavek Jarmila Balogová Ladislav Fekete Michal Landa Jan Drahokoupil Jiří Němeček Ludek Heller |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, novembre 2019, n. 1, v. 29 |
| Page(s): | 015001 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab4e0c |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10376758 - Publié(e) le:
19.10.2019 - Modifié(e) le:
21.11.2019
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