Effect of FIB milling on NiTi films and NiTi/Si micro-bridge sensor
Autor(en): |
David Vokoun
Lukas Kaderavek Jarmila Balogová Ladislav Fekete Michal Landa Jan Drahokoupil Jiří Němeček Ludek Heller |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, November 2019, n. 1, v. 29 |
Seite(n): | 015001 |
DOI: | 10.1088/1361-665x/ab4e0c |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10376758 - Veröffentlicht am:
19.10.2019 - Geändert am:
21.11.2019