Development of a New Piezoelectric Galvanometer Scanner: Fabrication, Operation, and Measurements
| Auteur(s): |
Ya-Chu Chiu
Chi-Ying Lin Chien-Yu Yen Yu-Hsi Huang
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|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, 14 mai 2021, n. 7, v. 30 |
| Page(s): | 074001 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ac028e |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10608698 - Publié(e) le:
22.05.2021 - Modifié(e) le:
08.06.2021
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