Development of a New Piezoelectric Galvanometer Scanner: Fabrication, Operation, and Measurements
| Autor(en): |
Ya-Chu Chiu
Chi-Ying Lin Chien-Yu Yen Yu-Hsi Huang
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|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 14 Mai 2021, n. 7, v. 30 |
| Seite(n): | 074001 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ac028e |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10608698 - Veröffentlicht am:
22.05.2021 - Geändert am:
08.06.2021
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