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Development of a New Piezoelectric Galvanometer Scanner: Fabrication, Operation, and Measurements

Autor(en): ORCID


ORCID
Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 7, v. 30
Seite(n): 074001
DOI: 10.1088/1361-665x/ac028e
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10608698
  • Veröffentlicht am:
    22.05.2021
  • Geändert am:
    08.06.2021
 
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