Design and vibration analysis of a piezoelectric-actuated MEMS scanning mirror and its application to laser projection
Auteur(s): |
Chung-De Chen
Yao-Hui Lee Chien-Shien Yeh |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2014, n. 12, v. 23 |
Page(s): | 125007 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/23/12/125007 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225677 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018