Design and vibration analysis of a piezoelectric-actuated MEMS scanning mirror and its application to laser projection
| Autor(en): |
Chung-De Chen
Yao-Hui Lee Chien-Shien Yeh |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2014, n. 12, v. 23 |
| Seite(n): | 125007 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/23/12/125007 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225677 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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