Design and simulation of a MEMS Fabry-Perot accelerometer with ultra-low cross-axis sensitivity
| Auteur(s): |
Minghui Zhao
Xueyong Wei Hongwu Bai HaiRong Wang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, 25 juin 2020, n. 8, v. 29 |
| Page(s): | 085029 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab99d8 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10424781 - Publié(e) le:
11.06.2020 - Modifié(e) le:
11.07.2020
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