Design and simulation of a MEMS Fabry-Perot accelerometer with ultra-low cross-axis sensitivity
| Autor(en): |
Minghui Zhao
Xueyong Wei Hongwu Bai HaiRong Wang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 25 Juni 2020, n. 8, v. 29 |
| Seite(n): | 085029 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab99d8 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10424781 - Veröffentlicht am:
11.06.2020 - Geändert am:
11.07.2020
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