Design and Fabrication of a High-speed Linear Piezoelectric Actuator with Nanometer Resolution Using a Cantilever Transducer
| Auteur(s): |
Liang Wang
Junkao Liu Shuo Chen Kai Li Yingxiang Liu |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, mai 2019, n. 5, v. 28 |
| Page(s): | 055035 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab1161 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10310874 - Publié(e) le:
30.06.2019 - Modifié(e) le:
30.06.2019
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