Design and Fabrication of a High-speed Linear Piezoelectric Actuator with Nanometer Resolution Using a Cantilever Transducer
| Autor(en): |
Liang Wang
Junkao Liu Shuo Chen Kai Li Yingxiang Liu |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Mai 2019, n. 5, v. 28 |
| Seite(n): | 055035 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab1161 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10310874 - Veröffentlicht am:
30.06.2019 - Geändert am:
30.06.2019
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