Control of a piezoelectrically actuated high-speed serial-kinematic AFM nanopositioner
| Auteur(s): |
Sachin P. Wadikhaye
Yuen Kuan Yong Bharath Bhikkaji S. O. Reza Moheimani |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 2014, n. 2, v. 23 |
| Page(s): | 025030 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/23/2/025030 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225354 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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