Control of a piezoelectrically actuated high-speed serial-kinematic AFM nanopositioner
| Autor(en): |
Sachin P. Wadikhaye
Yuen Kuan Yong Bharath Bhikkaji S. O. Reza Moheimani |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2014, n. 2, v. 23 |
| Seite(n): | 025030 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/23/2/025030 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225354 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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