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Contaminant particles removal by negative air ionic cleaner in industrial minienvironment for IC manufacturing processes

Auteur(s):

Médium: article de revue
Langue(s): anglais
Publié dans: Building and Environment, , n. 8, v. 46
Page(s): 1537-1544
DOI: 10.1016/j.buildenv.2011.01.006
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10390850
  • Publié(e) le:
    26.11.2019
  • Modifié(e) le:
    26.11.2019
 
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