Contactless four-terminal MEMS variable capacitor for capacitive adiabatic logic
| Auteur(s): |
A. Galisultanov
Y. Perrin H. Samaali H. Fanet P. Basset G. Pillonnet |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, août 2018, n. 8, v. 27 |
| Page(s): | 084001 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/aacac4 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10214142 - Publié(e) le:
01.12.2018 - Modifié(e) le:
01.12.2018
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