Contactless four-terminal MEMS variable capacitor for capacitive adiabatic logic
| Autor(en): |
A. Galisultanov
Y. Perrin H. Samaali H. Fanet P. Basset G. Pillonnet |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, August 2018, n. 8, v. 27 |
| Seite(n): | 084001 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/aacac4 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10214142 - Veröffentlicht am:
01.12.2018 - Geändert am:
01.12.2018
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