A compact 2-DOF piezo-driven positioning stage designed by using the parasitic motion of flexure hinge mechanism
| Auteur(s): |
Xuan Li
Xiangyuan Wang Wuxiang Sun Kuifeng Wang Zhixin Yang Tianwei Liang Hu Huang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, novembre 2019, n. 1, v. 29 |
| Page(s): | 015022 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab547f |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10377907 - Publié(e) le:
07.11.2019 - Modifié(e) le:
05.12.2019
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