A compact 2-DOF piezo-driven positioning stage designed by using the parasitic motion of flexure hinge mechanism
| Autor(en): |
Xuan Li
Xiangyuan Wang Wuxiang Sun Kuifeng Wang Zhixin Yang Tianwei Liang Hu Huang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, November 2019, n. 1, v. 29 |
| Seite(n): | 015022 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ab547f |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10377907 - Veröffentlicht am:
07.11.2019 - Geändert am:
05.12.2019
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