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A compact 2-DOF piezo-driven positioning stage designed by using the parasitic motion of flexure hinge mechanism

Diese Veröffentlichung wurde in 2 anderen Veröffentlichung(en) zitiert:

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    Datenseite
  • Reference-ID
    10377907
  • Veröffentlicht am:
    07.11.2019
  • Geändert am:
    05.12.2019
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