Bulk-micromachined structures inside anisotropically etched cavities
| Auteur(s): |
Prem Pal
Sudhir Chandra |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2004, n. 6, v. 13 |
| Page(s): | 1424-1429 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/13/6/013 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223298 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
Structurae coopère avec
