Bulk-micromachined structures inside anisotropically etched cavities
| Autor(en): |
Prem Pal
Sudhir Chandra |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2004, n. 6, v. 13 |
| Seite(n): | 1424-1429 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/13/6/013 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223298 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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