Analysis of lattice deformation originated from residual stress on performance of aluminum nitride-based bulk acoustic wave resonators
| Auteur(s): |
Xiyu Gu
Yan Liu Yuanhang Qu 
Min Wei Xiang Chen Yaxin Wang Wenjuan Liu Bensong Pi Bo Woon Soon Yao Cai Shishang Guo
Chengliang Sun |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Composite Structures, juillet 2024, v. 340 |
| Page(s): | 118203 |
| DOI: | 10.1016/j.compstruct.2024.118203 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10788904 - Publié(e) le:
20.06.2024 - Modifié(e) le:
20.06.2024
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