Analysis of lattice deformation originated from residual stress on performance of aluminum nitride-based bulk acoustic wave resonators
| Autor(en): |
Xiyu Gu
Yan Liu Yuanhang Qu 
Min Wei Xiang Chen Yaxin Wang Wenjuan Liu Bensong Pi Bo Woon Soon Yao Cai Shishang Guo
Chengliang Sun |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Composite Structures, Juli 2024, v. 340 |
| Seite(n): | 118203 |
| DOI: | 10.1016/j.compstruct.2024.118203 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10788904 - Veröffentlicht am:
20.06.2024 - Geändert am:
20.06.2024
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