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Analysis of lattice deformation originated from residual stress on performance of aluminum nitride-based bulk acoustic wave resonators

Structurae kann Ihnen derzeit diese Veröffentlichung nicht im Volltext zur Verfügung stellen. Der Volltext ist beim Verlag erhältlich über die DOI: 10.1016/j.compstruct.2024.118203.
  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10788904
  • Veröffentlicht am:
    20.06.2024
  • Geändert am:
    20.06.2024
 
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