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Analysis of lattice deformation originated from residual stress on performance of aluminum nitride-based bulk acoustic wave resonators

Diese Veröffentlichung enthält 32 Literaturhinweise zu anderen Veröffentlichungen:

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  • Reference-ID
    10788904
  • Veröffentlicht am:
    20.06.2024
  • Geändert am:
    20.06.2024
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