ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm
| Auteur(s): |
Junhong Li
Chenghao Wang Wei Ren Jun Ma |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, mai 2017, n. 5, v. 26 |
| Page(s): | 055033 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/aa6ae9 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10215489 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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