ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm
| Autor(en): |
Junhong Li
Chenghao Wang Wei Ren Jun Ma |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Mai 2017, n. 5, v. 26 |
| Seite(n): | 055033 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/aa6ae9 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215489 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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