Use of polymer and ceramic thin film materials to reduce the actuation voltage of a distributed micro-electromechanical system phase shifter
| Auteur(s): |
Taeksoo Ji
K. J. Vinoy Vijay K. Varadan |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2003, n. 6, v. 12 |
| Page(s): | N9-N13 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/12/6/n01 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216221 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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