Tuning MEMS cantilever devices using photoresponsive polymers
Auteur(s): |
Nathan Jackson
Kamlesh Kumar Oskar Olszewski Albertus P. H. J. Schenning Michael G. Debije |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, août 2019, n. 8, v. 28 |
Page(s): | 085024 |
DOI: | 10.1088/1361-665x/aad013 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10326700 - Publié(e) le:
21.07.2019 - Modifié(e) le:
26.07.2019