Three-dimensional piezoelectric MEMS actuator by using sputtering deposition of Pb(Zr,Ti)O3 on microstructure sidewalls
| Auteur(s): |
Kensuke Kanda
Shingo Moriue Takayuki Fujita Kazusuke Maenaka |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, avril 2017, n. 4, v. 26 |
| Page(s): | 045019 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/aa61eb |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10215694 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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