The theoretical static response of electrostatic fixed–fixed beam microactuators
Auteur(s): |
Ki Bang Lee
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2008, n. 6, v. 17 |
Page(s): | 065017 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/17/6/065017 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223806 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018