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The theoretical static response of electrostatic fixed–fixed beam microactuators

Autor(en):
Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 17
Seite(n): 065017
DOI: 10.1088/0964-1726/17/6/065017
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10223806
  • Veröffentlicht am:
    04.12.2018
  • Geändert am:
    04.12.2018
 
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