The theoretical static response of electrostatic fixed–fixed beam microactuators
Autor(en): |
Ki Bang Lee
|
---|---|
Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2008, n. 6, v. 17 |
Seite(n): | 065017 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/17/6/065017 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223806 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018