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A theoretical solution for the angular displacement of electrostatic one-degree-of-freedom torsional microactuators

Auteur(s):
Médium: article de revue
Langue(s): anglais
Publié dans: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 17
Page(s): 065014
DOI: 10.1088/0964-1726/17/6/065014
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10217079
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
 
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