Stabilization of electrostatic MEMS resonators using a delayed feedback controller
Auteur(s): |
Fadi M. Alsaleem
Mohammad I. Younis |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, mars 2010, n. 3, v. 19 |
Page(s): | 035016 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/19/3/035016 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224118 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018